红外光谱吸收技术检测SF6气体主要用一个广谱的光源作为红外传感器的光源，光线穿过光路中的被测气体，透过窄带滤波片，到达红外传感器。红外光谱技术检测速度快，数据精确，且传感器寿命长达5年以上，这是普通电化学传感器不可比拟的。

其工作原理是基于不同气体分子的近红外光谱选择吸收特性，利用气体浓度与吸收强度关系鉴别气体组分并确定其浓度的气体传感装置。其主要由红外光源、光路、红外传感器、电路和软件算法组成的光学传感器，主要用于测化合物，可以实现SF6、H2O、HF、CF4等气体的实时测量。

英国EMT公司的SF6气体分析仪就是采用红外光谱吸收技术测量SF6、H2O、HF、CF4等气体。