SF6电气设备衍生物的主要来源包含：

  1. 新的SF6气体在生产过程中含有H2O，湿度是影响SF6气体行程水解氟化物的重要因素
  2. SF6电气设备泄露和吸附能力差导致的H2O增加
  3. 由于SF6电气设备绝缘的缺陷，内部局部放电，电晕和火花情况下可能产生HF,CO,CF4,SO2,SO2F2,SOF2等

随着科学技术的进步和发展，红外光谱技术运用于气体检测技术越来越成熟，

英国EMT采用世界领先的红外光谱吸收技术(NDIR)来检测分析SF6分解物

NDIR红外气体传感器用一个广谱的光源作为红外传感器的光源，光线穿过光路中的被测气体，透过窄带滤波片，到达红外探测器。其工作原理是基于不同气体分子的近红外光谱选择吸收特性，利用气体浓度与吸收强度关系（朗伯-比尔Lambert-Beer定律）鉴别气体组分并确定其浓度的气体传感装置。

其主要由红外光源、光路、红外探测器、电路和软件算法组成的光学传感器，主要用于测化合物，可以实现SF6、H2O、HF、CF4等气体的实时测量。